產(chǎn)品詳情
快速真空退火爐
發(fā)布時間 : 2025-03-23 03:51
PEO系列除了有節(jié)省空間的優(yōu)點(diǎn)之外還有在待機(jī)的情況下周圍環(huán)境零能耗的特點(diǎn)。設(shè)備技術(shù)特點(diǎn)之處在于:使用方便更換的嵌套管即可實(shí)現(xiàn)同一臺設(shè)備上不同工藝的切換,且相互之間無交叉污染。為了達(dá)到具佳的溫度均勻性,ATV采用了14個Kanthal加熱元件,它們分別位于石英管的周圍,前端和后端,并且都由PID獨(dú)立控制。ATV豐富的經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)的工藝知識突出了我們為半導(dǎo)體和微電子行業(yè)提供性能具佳的設(shè)備和服務(wù)的理念。
我們的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和售后團(tuán)隊(duì)致力于幫助我們的用戶從對ATV設(shè)備的投資中獲得良好的回報(bào)。
PE0-604
設(shè)備技術(shù)參數(shù)
- 外形尺寸： 800 x 1900 x 1400mm (長x寬x高） [>重蛋： 475 Kg
- 石英管直徑230mm(9")
- 標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品溫度： 1,000°C/1, 100°
- 等溫區(qū)： 50片晶圓。
- 電源： 3Phases, 230/400V, 32/63A, 21/42 KW
- 一般應(yīng)用
- CVD, PVD, LPCVD, MOCVD [> Si3凡Poly Si
- Si Ep i taxy
- TEOS,LTO
- 碳納米管， 硅納米線， 石墨烯
- 氣體／固體源擴(kuò)散
- 濕法／干法氧化
- VCSEL氧化工藝
- Trans LC
- SiAI/SiAu/SiMo合金化處理
- 退火：惰性氣體
- 聚酰亞胺， 固化/烘烤
- LTCC燒結(jié)， 厚膜燒結(jié)